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标题
Physical approach to enhance the selectivity of SiO2 area-selective deposition using substrate biasing
网址
https://doi.org/10.1116/6.0005200
DOI
10.1116/6.0005200 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Arthur A. de Jong; Marc J. M. Merkx; Wilhelmus W. M. Kessels; Adriaan J. M. Mackus
出版日期：2026
求助人
wuhao 在 2026-05-16 15:30:14 发布自湖北，悬赏 10 积分
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