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 Effect of Nucleophiles with Passivating –Oh Group to Suppress Re-Deposition of Si3n4 Etch Byproduct and Promote Sn2-Like Nucleophilic Substitution on Selective Si3n4 Etching 相关领域
亲核细胞
SN2反应
群（周期表）
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亲核取代
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化学
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钝化
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沉积物
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期刊： 作者：Jongwon Han; Sangwoo Lim 出版日期：2025-01-26 |
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