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Direct patterning of phase change materials (PCMs) using the Raith Picomaster-150 laser beam lithography |
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| DOI |
10.1117/12.3090890
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期刊:Advanced Lithography 作者:O. Rana; Shiqi Luo; I. Agha; Andrew M. Sarangan 出版日期:2026-04-08 |
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(2025-6-4)