Investigation of contamination particles generation and surface chemical reactions on Al2O3, Y2O3, and YF3 coatings in F-based plasma

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标题	Investigation of contamination particles generation and surface chemical reactions on Al2O3, Y2O3, and YF3 coatings in F-based plasma
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.157367
DOI	10.1016/j.apsusc.2023.157367 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Jongho So; Minjoong Kim; Hyuksung Kwon; Seonjeong Maeng; Eunmi Choi; et al 出版日期：2023-08-01
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