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Characterization of orientation-dependent etching properties of single-crystal silicon: effects of KOH concentration
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DOI
10.1016/s0924-4247(97)01658-0 doi
其它 期刊:Sensors and Actuators A: Physical
作者:Kazuo Sato; Mitsuhiro Shikida; Yoshihiro Matsushima; Takashi Yamashiro; Kazuo Asaumi; et al
出版日期:2002-07-26
求助人
朴实的宛白 在 2026-07-30 16:32:49 发布自广东,悬赏 10 积分
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