Active Temperature Compensation for MEMS Capacitive Sensor

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标题	Active Temperature Compensation for MEMS Capacitive Sensor
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/7361/9525468/09454159.pd...
DOI	10.1109/jsen.2021.3089056 doi
其它	期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Cuong Do; Ashwin A. Seshia 出版日期：2021-06-15
求助人	fyz 在 2026-08-25 22:50:53 发布自广东，悬赏 10 积分
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