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 Development of an angle detection system for channeling implantation to the c-axis of SiC using birefringence phenomenon 利用双折射现象向SiC c轴沟道注入的角度检测系统的研制
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Masashi Kato; Takumi Maruhashi; Hisaya Sato; Yoshiyuki Yonezawa 出版日期：2023-06-01 |
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