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 Study of formation and some properties of Ti-C:H films prepared by d.c. magnetron sputtering 相关领域
材料科学
钛
溅射沉积
分析化学（期刊）
腔磁控管
溅射
电阻率和电导率
氩
体积流量
偏压
基质（水族馆）
沉积（地质）
薄膜
冶金
纳米技术
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化学
热力学
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生物
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地质学
物理
色谱法
海洋学
沉积物
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(2025-6-4)
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