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 Study on the fabrication of high-quality hafnium oxide thin films using spatial rotated atomic layer deposition and supercritical fluids treatment 空间旋转原子层沉积和超临界流体处理制备高质量氧化铪薄膜的研究
相关领域
超临界流体
制作
原子层沉积
沉积（地质）
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铪
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光电子学
化学工程
纳米技术
冶金
化学
地质学
物理
有机化学
医学
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病理
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沉积物
工程类
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Wen-Hsi Lee; C. J. Feng; Guan-Fu Chen; Tai‐Chen Kuo 出版日期：2024-11-12 |
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