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 A Workfunction Engineered Middle-Silicon-TiN Gate (MSTG) Cell Transistor in 16Gbit DRAM for High Scalability and Long Data Retention 16Gbit DRAM中的功函数工程中硅锡栅极（MSTG）单元晶体管，具有高可扩展性和长数据保持性
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材料科学
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