Stochastic Effect of Acid Catalytic Chain Reaction in Chemically Amplified Extreme Ultraviolet Resists

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标题	Stochastic Effect of Acid Catalytic Chain Reaction in Chemically Amplified Extreme Ultraviolet Resists
网址	https://doi.org/10.7567/jjap.51.116503
DOI	10.7567/jjap.51.116503 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Takahiro Kozawa 出版日期：2013-12-21
求助人	李露露在 2026-09-23 14:30:37 发布自上海，悬赏 10 积分
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