Deep learning assisted fast mask optimization

已完结

文献求助详情

标题	Deep learning assisted fast mask optimization 相关领域计算机科学光学接近校正深度学习人工智能扫描仪平版印刷术计算光刻计算机工程光栅图形计算机硬件计算机体系结构电子工程多重图案抵抗工程类过程（计算）纳米技术材料科学操作系统光电子学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2297514
DOI	10.1117/12.2297514 doi
其它	期刊：Optical Microlithography XXXI 作者：Soichi Owa; Jongwook Kye; Ke Zhao; Yumin Wang; Jun Liu; et al 出版日期：2018
求助人	研友_kngAY8 在 2021-12-19 09:19:00 发布，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

有了科研通，下载文献真轻松！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

刚刚; 完美世界的应助被科研通管家采纳，获得10

刚刚; 天天快乐的应助被科研通管家采纳，获得10

刚刚; 123123完成签到，获得积分10

4秒前; 美丽万怨完成签到，获得积分10

5秒前; yangbinsci0827完成签到，获得积分10

7秒前; pluto的应助被陶醉的念之采纳，获得10

8秒前; 深情安青的应助被王博雅采纳，获得10

10秒前; JamesPei上传了应助文件

10秒前; Yuxx发布了新的文献求助10

15秒前; orixero的应助被PanLi采纳，获得10

16秒前; 补药学习完成签到，获得积分10

17秒前; 深情安青上传了应助文件

18秒前; 小蘑菇上传了应助文件

20秒前; 王博雅发布了新的文献求助10

21秒前; 兔子的应助被meilv采纳，获得10

23秒前; 李爱国上传了应助文件

23秒前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

23秒前; 风中的夏烟完成签到，获得积分10

25秒前; 青辣椒发布了新的文献求助10

26秒前; 阔达碧空完成签到，获得积分10

26秒前; orixero上传了应助文件

27秒前; 月亮不营业发布了新的文献求助10

28秒前; 香蕉觅云的应助被陈欣瑶采纳，获得10

29秒前; 阔达碧空发布了新的文献求助10

29秒前; 科研通AI2S的应助被wang97采纳，获得10

32秒前; PanLi发布了新的文献求助10

32秒前; 飞快的尔云完成签到，获得积分10

32秒前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

33秒前; Answer完成签到，获得积分10

35秒前; 小马甲上传了应助文件

35秒前; lbyscu完成签到，获得积分10

36秒前; 张姣姣完成签到，获得积分10

37秒前; 落寞的白易发布了新的文献求助10

37秒前; Meyako上传了应助文件

38秒前; 聪慧的诗兰发布了新的文献求助10

39秒前; 如意的汽车完成签到，获得积分10

40秒前; 明理开山完成签到，获得积分10

41秒前; Ygy发布了新的文献求助10

41秒前; 桐桐的应助被锂离子采纳，获得10

42秒前