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 Fabrication and characterization of hybrid bulk and surface acoustic wave resonators with Ag/patterned-AlN/Mo/diamond/Si layered structure Ag/图案化AlN/Mo/金刚石/Si层状结构体声表面波混合谐振器的制备与表征
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期刊：Diamond and Related Materials 作者：Bowei Xie; Fazhu Ding; Hongjing Shang; Daxing Huang; Qiming Zou; et al 出版日期：2023-02-08 |
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