Novel polyelectrolyte–Al2O3/SiO2 composite nanoabrasives for improved chemical mechanical polishing (CMP) of sapphire

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标题	Novel polyelectrolyte–Al2O3/SiO2 composite nanoabrasives for improved chemical mechanical polishing (CMP) of sapphire 相关领域材料科学化学机械平面化抛光蓝宝石复合数聚电解质化学工程复合材料聚合物光学激光器物理工程类
网址	https://www.cambridge.org/core/services/aop-cambridge-core/c...
DOI	10.1557/jmr.2018.443 doi
其它	期刊：Journal of Materials Research 作者：Tianxian Wang; Hong Lei 出版日期：2019-01-03
求助人	溪平川在 2026-02-02 16:10:53 发布自河南，悬赏 10 积分
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