| 标题 |
Quantitative study of oxidation mechanism in photoelectrochemical mechanical polishing of difficult-to-process semiconductor wafers 难加工半导体晶片光电化学机械抛光氧化机理的定量研究
相关领域
抛光
薄脆饼
半导体
机制(生物学)
过程(计算)
材料科学
化学机械平面化
光电化学
氧化法
光电子学
冶金
计算机科学
电化学
化学
化学工程
工程类
物理
物理化学
电极
量子力学
操作系统
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成,仅限求助人下载。 |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|