Structure and property changes of ZrO2/Al2O3/ZrO2 laminate induced by low-temperature NH3 annealing applicable to metal–insulator–metal capacitor

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标题	Structure and property changes of ZrO2/Al2O3/ZrO2 laminate induced by low-temperature NH3 annealing applicable to metal–insulator–metal capacitor
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S004060901...
DOI	10.1016/j.tsf.2010.04.017 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Ming-yen Li; Tsai Bin-Siang; P. Jiang; Wu Hsiao-Che; Yung-Hsien Wu; et al 出版日期：2010-07-01
求助人	翟不评在 2026-07-23 16:46:21 发布自新加坡，悬赏 10 积分
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