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  Fluorinated copolymer resists for high‐resolution negative‐tone lithography: Preparation and patterning performance 相关领域
抵抗
光刻胶
共聚物
聚合物
材料科学
平版印刷术
单体
热分解
化学工程
光刻
制作
高分子化学
玻璃化转变
溶解度
纳米技术
三元运算
热稳定性
剥离（纤维）
薄膜
薄脆饼
自组装
环己烷
预聚物
紫外线
纳米光刻
分解
同系序列
聚合
热的
极紫外光刻
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| 其它 |
期刊：Smart Molecules 作者：Yuting Tang; Wenzheng Li; Xinyan Huang; Min Zhang; Han Han; et al 出版日期：2026-05-28 |
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