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 Effect of nitrogen ion implantation in semi insulating 6H-SiC and recrystallization probed by Raman scattering 氮离子注入对半绝缘6H-SiC及再结晶的影响
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期刊：Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms 作者：K. Kamalakkannan; R. Rajaraman; B. Sundaravel; G. Amarendra; K. Sivaji 出版日期：2019-07-25 |
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