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标题
Design and fabrication of through-glass via (TGV) based 3D spiral inductors in fused silica substrate
熔融石英衬底中基于玻璃通孔(TGV)的三维螺旋电感器的设计与制作
相关领域
材料科学 电感器 制作 电感 光刻胶 电磁线圈 Q系数 光电子学 基质(水族馆) 欧姆接触 复合材料 电气工程 图层(电子) 谐振器 工程类 地质学 海洋学 病理 医学 电压 替代医学
网址
DOI
10.1007/s00542-021-05244-x doi
其它 期刊:Microsystem Technologies
作者:Harindra Kumar Kannojia; Aboobackkar Sidhique; Ambika Shanker Shukla; Jaising Pednekar; Shalabh Gupta; Pradeep Dixit
出版日期:2021-11-22
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