Suppression of In-Grown SF Formation and BPD Propagation in 4H-Sic Epitaxial Layer by Sublimating Sub-Surface Damage before the Growth

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标题	Suppression of In-Grown SF Formation and BPD Propagation in 4H-Sic Epitaxial Layer by Sublimating Sub-Surface Damage before the Growth
网址	http://dx.doi.org/10.4028/p-z108w8
DOI	10.4028/p-z108w8 doi
其它	期刊：Solid State Phenomena 作者：Kohei Toda; Daichi Dojima; Kiyoshi Kojima; Hiroshi Mihara; Shinichi Mitani; et al 出版日期：2023-06-06
求助人	阿西吧在 2026-10-26 22:04:25 发布自湖南，悬赏 30 积分
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