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 Contribution of numerical simulation to silicon carbide bulk growth and epitaxy 相关领域
碳化硅
制作
表征（材料科学）
外延
化学气相沉积
材料科学
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硅
工程物理
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病理
沉积物
医学
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期刊：Journal of Physics Condensed Matter 作者：Jérôme Mezière; M. Pons; L. Di Cioccio; E. Blanquet; P. Ferret; et al 出版日期：2004-04-17 |
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