Quasi-epitaxial Growth of Aluminum Nitride Films on (0002)-oriented Titanium Buffer Layer by Magnetron Sputtering - 科研通

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标题	Quasi-epitaxial Growth of Aluminum Nitride Films on (0002)-oriented Titanium Buffer Layer by Magnetron Sputtering
网址	https://doi.org/10.2139/ssrn.6104011
DOI	10.2139/ssrn.6104011 doi
其它	期刊：作者：Jing Sun; Ruoyuan Xie; Can Sheng; Pan Xu; Shaoqing Xu; et al 出版日期：2026-01-21
求助人	SUNJJ 在 2026-02-02 14:53:40 发布自广东，悬赏 10 积分
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