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 Short-Pulse Width High-Voltage Bipolar Impulse Generator for DBD-Based 222 nm Excimer Source 基于DBD的222nm准分子源短脉宽高压双极脉冲发生器
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期刊：IEEE Transactions on Plasma Science 作者：Subhash Kumar Ram; Brijendra Kumar Verma; Vivek Kumar Saini; Ram Prakash Lamba; P. Das; et al 出版日期：2024-06-01 |
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