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标题
Phenomena and mechanism of local oxidation microlithography of 4H–SiC via electrochemical jet anodisation
电化学喷射阳极氧化4H-SiC局部氧化微光刻现象及机理
相关领域
材料科学 氧化物 阳极氧化 图层（电子） 薄脆饼 基质（水族馆） 电化学 蚀刻（微加工） 平版印刷术 微观结构 光刻 纳米技术 化学工程 喷射（流体） 光电子学 电极 复合材料 冶金 化学 物理化学 工程类 地质学 铝 物理 海洋学 热力学
网址
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.11.029
DOI
10.1016/j.ceramint.2022.11.029 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Bangyan Dong; Shunda Zhan; Jiajun Lu; Zhaojie Chen; Yonghua Zhao
出版日期：2022-11-04
求助人
隐形 在 2025-12-06 15:12:22 发布自安徽，悬赏 10 积分
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