Simulation study of stochastic heating in single-frequency capacitively coupled discharges with critical evaluation of analytical models

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标题	Simulation study of stochastic heating in single-frequency capacitively coupled discharges with critical evaluation of analytical models
网址	http://dx.doi.org/10.1088/0963-0252/22/3/035014
DOI	10.1088/0963-0252/22/3/035014 doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：S Sharma; M M Turner 出版日期：2013-06-03
求助人	Mzuser 在 2026-07-09 13:30:33 发布自荷兰，悬赏 10 积分
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