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A molecular dynamics study of deposition rate dependence of film morphology in the sputtering process
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网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789720...
DOI
10.1016/s0257-8972(01)01445-1 doi
其它 期刊：Surface & Coatings Technology
作者：S. Ju; C. Weng; Jee-Gong Chang; C. Hwang
出版日期：2002-01-15
求助人
正方形圆 在 2026-08-12 09:12:55 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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