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标题
Automatic classification of EUV mask defects inspected using DUV inspection optics
使用DUV检测光学器件检测的EUV掩模缺陷的自动分类
相关领域
极紫外光刻 光学 计算机科学 人工智能 物理
网址
https://doi.org/10.1117/12.3034707
DOI
10.1117/12.3034707 doi
其它 期刊：
作者：Aravindh Rajiv; Venkata Rama Samir Bhamidipati; Mark P. Pereira; Sankaranarayanan Paninjath; Neha Razdan; et al
出版日期：2024-09-24
求助人
子暮 在 2025-05-30 16:47:06 发布自福建，悬赏 20 积分
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