In-situ chamber clean for chromium etch application

求助中

文献求助详情

标题	In-situ chamber clean for chromium etch application 用于铬蚀刻应用的原位腔室清洁相关领域光掩模蚀刻（微加工）材料科学干法蚀刻薄脆饼等离子体刻蚀光刻制作光电子学纳米技术抵抗替代医学图层（电子）病理医学
网址	https://doi.org/10.1117/12.793080
DOI	10.1117/12.793080 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Zhigang Mao; Xiaoyi Chen; David Knick; Michael Grimbergen; Madhavi Chandrahood; et al 出版日期：2008-05-13
求助人	科研小张在 2025-10-27 01:26:15 发布自广西，悬赏 20 积分
下载	暂无链接，等待应助者上传
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

现在，等待您上传文献

对不起，您需要登录才可以上传文件。
进入登录页面
6小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

01:26:21 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

01:26:17 科研通AI机器人（广州）收到请求，开始寻找文献

01:26:15 已向机器人发送请求
6小时前

科研小张 Lv9 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: CC完成签到，获得积分0

3秒前; zz发布了新的文献求助30

4秒前; 忧虑的静柏完成签到，获得积分10

5秒前; Tree_QD完成签到，获得积分10

6秒前; 柯伊达完成签到，获得积分10

7秒前; 忆茶戏完成签到，获得积分10

7秒前; 科研通AI6的应助被初尧采纳，获得10

7秒前; 大爱人生完成签到，获得积分10

8秒前; 量子星尘发布了新的文献求助20

10秒前; 发发旦旦完成签到，获得积分10

11秒前; Lyw完成签到，获得积分10

21秒前; 小二郎上传了应助文件

23秒前; 现代小丸子完成签到，获得积分10

24秒前; 如影随形完成签到，获得积分10

25秒前; 随风发布了新的文献求助10

26秒前; llhh2024完成签到，获得积分10

29秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

31秒前; 馆长的应助被生动梦松采纳，获得200

34秒前; 黄油小xin驳回了Hello的应助

34秒前; 5433完成签到，获得积分10

34秒前; 阿尔文发布了新的文献求助10

35秒前; 调皮平蓝完成签到，获得积分10

39秒前; 康复小白完成签到，获得积分10

42秒前; 喻初原完成签到，获得积分10

42秒前; 猪鼓励完成签到，获得积分10

44秒前; yzhilson完成签到，获得积分0

44秒前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

45秒前; mrconli完成签到，获得积分10

47秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

47秒前; 共享精神的应助被科研通管家采纳，获得10

47秒前; 香蕉觅云的应助被科研通管家采纳，获得10

47秒前; 落寞的幻竹完成签到，获得积分10

48秒前; Johnlian完成签到，获得积分10

48秒前; ldr888完成签到，获得积分10

49秒前; 医生不开药呀发布了新的文献求助10

49秒前; 医生不开药呀完成签到，获得积分10

57秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

58秒前; 月月鸟完成签到，获得积分10

1分钟前; 盟主完成签到，获得积分10

1分钟前; 知行合一完成签到，获得积分10

1分钟前