DOI: 10.1038/s41928-024-01202-3

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标题	[高分] DOI: 10.1038/s41928-024-01202-3 相关领域电容材料科学原子层沉积电介质图层（电子）光电子学金属晶体管高-κ电介质纳米技术电气工程化学冶金电极电压工程类物理化学
网址	https://www.nature.com/articles/s41928-024-01202-3?utm_sourc...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？ AI识别 10.1038/s41928-024-01202-3 doi
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