Structural characterization and bonding energy analysis for plasma-activated bonding of SiCN films: A reactive molecular dynamics study

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标题	Structural characterization and bonding energy analysis for plasma-activated bonding of SiCN films: A reactive molecular dynamics study
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2026.166598
DOI	10.1016/j.apsusc.2026.166598 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Juheon Kim; Minki Jang; Won Hong Choi; Junhyeok Park; Byungjo Kim; et al 出版日期：2026
求助人	yyy 在 2026-04-01 16:11:46 发布自天津，悬赏 10 积分
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