Novel hexameric tin carboxylate clusters as efficient negative-tone EUV photoresists: high resolution with well-defined patterns under low energy doses

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标题	Novel hexameric tin carboxylate clusters as efficient negative-tone EUV photoresists: high resolution with well-defined patterns under low energy doses
网址	https://pubs.rsc.org/en/content/articlepdf/2023/na/d3na00131...
DOI	10.1039/d3na00131h doi
其它	期刊：Nanoscale advances 作者：Jia‐Rong Wu; Ting‐An Lin; Yanru Wu; Po-Hsiung Chen; Tsi-Sheng Gau; et al 出版日期：2023-01-01
求助人	樊珩在 2026-08-10 01:07:42 发布自上海，悬赏 10 积分
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