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Comparative Study of the Composition and Structure of the Target (ZrSi2–ZrB2–MoSi2)/Cr and Coatings Formed Using Them by the DCMS and HIPIMS Methods 相关领域
物理
高功率脉冲磁控溅射
作文(语言)
纳米技术
溅射沉积
薄膜
溅射
材料科学
量子力学
语言学
哲学
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期刊:Physics of Atomic Nuclei 作者:Ph. V. Kiryukhantsev–Korneev; Р. А. Вахрушев; А. Д. Сытченко; A. Yu. Potanin; S. I. Rupasov; et al 出版日期:2023-12-01 |
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