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标题
Exploring Ru Compatibility With Al-Ge Eutectic Wafer Bonding
探索Ru与Al-Ge共晶晶片键合的相容性
相关领域
共晶体系 材料科学 润湿 溶解 相容性（地球化学） 合金 三元运算 共金键结 冶金 薄脆饼 熔化温度 化学工程 纳米技术 复合材料 程序设计语言 工程类 计算机科学
网址
https://doi.org/10.1109/jmems.2022.3165716
AI链接 hal.science hal.sciencedoi.org
DOI
10.1109/jmems.2022.3165716 doi
其它 期刊：Journal of Microelectromechanical Systems
作者：Mark W. J. Ferguson; Mohamed Najah; Frederic A. Banville; Mohamed Boucherit; Paul Gond-Charton; et al
出版日期：2022-04-20
求助人
RomanYoung 在 2025-12-17 10:28:46 发布自四川，悬赏 10 积分
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