Laser slicing of large-size SiC: A comparative process study for semi-insulating and conductive 4H-SiC

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标题	Laser slicing of large-size SiC: A comparative process study for semi-insulating and conductive 4H-SiC
网址	https://doi.org/10.2139/ssrn.5604797
DOI	10.2139/ssrn.5604797 doi
其它	期刊：作者：Xiangyu Yu; Wenxiao Wu; Yuewen Li; Zili Xie; Xiangqian Xiu; et al 出版日期：2025-10-15
求助人	啦啦啦啦在 2026-03-01 00:34:25 发布自北京，悬赏 10 积分
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