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 Extreme-low k porous pSiCOH dielectrics prepared by PECVD PECVD法制备极低k多孔pSiCOH电介质
相关领域
电介质
等离子体增强化学气相沉积
材料科学
多孔性
化学气相沉积
制作
化学工程
沉积（地质）
碳纤维
等离子体
分析化学（期刊）
氢
复合材料
纳米技术
光电子学
化学
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复合数
物理
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沉积物
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Han You; Petra Mennell; Matthew Shoudy; Devika Sil; D. Dorman; et al 出版日期：2017-12-27 |
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