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 Si nanowire-based micro-capacitors fabricated with metal assisted chemical etching for integrated energy storage applications 用于集成储能应用的金属辅助化学蚀刻硅纳米线基微电容器
相关领域
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期刊：Solid-State Electronics 作者：Emmanouel Hourdakis; Ioannis Kochylas; Martha A. Botzakaki; N. Xanthopoulos; S. Gardelis 出版日期：2022-07-05 |
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