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标题
Si nanowire-based micro-capacitors fabricated with metal assisted chemical etching for integrated energy storage applications
用于集成储能应用的金属辅助化学蚀刻硅纳米线基微电容器
相关领域
电容器 材料科学 纳米线 光电子学 电容 电介质 电极 蚀刻（微加工） 储能 纳米技术 原子层沉积 泄漏（经济） 表面粗糙度 图层（电子） 电气工程 复合材料 电压 化学 功率（物理） 物理 物理化学 工程类 经济 宏观经济学 量子力学
网址
https://doi.org/10.1016/j.sse.2022.108408
DOI
10.1016/j.sse.2022.108408 doi
其它 期刊：Solid-State Electronics
作者：Emmanouel Hourdakis; Ioannis Kochylas; Martha A. Botzakaki; N. Xanthopoulos; S. Gardelis
出版日期：2022-07-05
求助人
Leon 在 2025-08-28 17:05:55 发布，悬赏 10 积分
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