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标题
Nanoporous Layers and the Peculiarities of Their Local Formation on a Silicon Wafer
纳米多孔层及其在硅片上局部形成的特性
相关领域
薄脆饼 硅 材料科学 多孔硅 蚀刻（微加工） 纳米孔 光电子学 纳米技术 戒指（化学） 化学 图层（电子） 有机化学
网址
https://www.mdpi.com/2227-9717/10/1/163/pdf?version=16421665...
AI链接 mdpi.com mdpi.com doaj.orgdoi.org
DOI
10.3390/pr10010163 doi
其它 期刊：Processes
作者：Vitali Vasil’evich Starkov; E. A. Gosteva; Dmitry D. Zherebtsov; M. V. Chichkov; Nikita Valerievich Alexandrov
出版日期：2022-01-14
求助人
路客 在 2025-08-30 19:47:54 发布，悬赏 10 积分
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