Piezoresistive failure behaviors and mechanisms of the ITO thin films at high temperatures

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标题	Piezoresistive failure behaviors and mechanisms of the ITO thin films at high temperatures 高温下ITO薄膜的压阻失效行为及机理相关领域压阻效应材料科学升华（心理学）薄膜薄板电阻标度系数溅射熔点溅射沉积复合材料制作应变计光电子学纳米技术图层（电子）心理治疗师替代医学病理医学心理学
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2023.112254
DOI	10.1016/j.vacuum.2023.112254 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Zhichun Liu; Junsheng Liang; Biling Wang; Zhenqi Hou; Haigang Wang; et al 出版日期：2023-06-08
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