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Optical modeling and investigation of thin films based on plasma-polymerized HMDSO under oxygen flow deposited by PECVD 氧流下PECVD沉积等离子体聚合HMDSO薄膜的光学模拟与研究
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期刊:Journal of Materials Science Materials in Electronics 作者:R. Amri; Zied Ben Hamed; D. Gamra; M. Lejeune; H. Bouchriha 出版日期:2023-06-01 |
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