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标题
[高分] Profile monitoring via a nonparametric Bayesian online learning framework: Application to wafer map data in the semiconductor manufacturing industry
基于非参数贝叶斯在线学习框架的轮廓监测:在半导体制造业晶圆图数据中的应用
相关领域
半导体器件制造 非参数统计 薄脆饼 贝叶斯概率 半导体工业 计算机科学 工业工程 制造工程 数据挖掘 工程类 统计 人工智能 数学 电气工程
网址
DOI
10.1080/00224065.2025.2528853 doi
其它 期刊:Journal of Quality Technology
作者:Daewon Yang; Jinsu Park; Hohyun Jung; Yeonseung Chung
出版日期:2025-08-11
求助人
666 在 2025-08-21 17:38:00 发布自浙江,悬赏 50 积分
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