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标题
Room temperature bonding of SiO2 and SiO2 by surface activated bonding method using Si ultrathin films
使用Si纳米纤维膜通过表面活性键合法实现SiO2和SiO2的室温键合
相关领域
材料科学 阳极连接 直接结合 金属键合 金属 图层(电子) 化学键 能量色散X射线光谱学 透射电子显微镜 固体中的键合 扫描电子显微镜 粘结强度 绝缘体(电) 复合材料 纳米技术 光电子学 冶金 化学 有机化学
网址
DOI
10.7567/jjap.55.026503 doi
其它 期刊:Japanese Journal of Applied Physics
作者:Jun Utsumi; Kensuke Ide; Yuko Ichiyanagi
出版日期:2016-01-18
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