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 Room temperature bonding of SiO2 and SiO2 by surface activated bonding method using Si ultrathin films 使用Si纳米纤维膜通过表面活性键合法实现SiO2和SiO2的室温键合
相关领域
材料科学
阳极连接
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Jun Utsumi; Kensuke Ide; Yuko Ichiyanagi 出版日期：2016-01-18 |
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