Ultra-low stress high reflective film by dual-ion-beam sputtering deposition

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标题	Ultra-low stress high reflective film by dual-ion-beam sputtering deposition 相关领域材料科学溅射椭圆偏振法折射率光学涂层光学溅射沉积薄膜离子束离子束辅助沉积透射率光电子学离子束沉积沉积（地质）离子梁（结构）纳米技术化学生物物理古生物学有机化学沉积物
网址	https://doi.org/10.1117/1.oe.61.3.031203
DOI	10.1117/1.oe.61.3.031203 doi
其它	期刊：Optical Engineering 作者：Jinlin Bai; Huasong Liu; Yugang Jiang; Lishuan Wang; Xiao Yang; et al 出版日期：2021-11-25
求助人	sshx 在 2025-10-28 11:34:52 发布自海南，悬赏 20 积分
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