Design of MEMS cylindrical gyroscope integrated with piezoelectric thin film

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标题	Design of MEMS cylindrical gyroscope integrated with piezoelectric thin film 集成压电薄膜的MEMS圆柱陀螺仪设计相关领域陀螺仪振动结构陀螺仪微电子机械系统有限元法灵敏度（控制系统）谐振器材料科学振动声学圆柱信号（编程语言）电子工程光电子学物理工程类计算机科学机械工程结构工程航空航天工程程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1109/mhs.2013.6710466
DOI	10.1109/mhs.2013.6710466 doi
其它	期刊：作者：Kosuke Fujiwara; Hirotaka Hida; Isaku Kanno 出版日期：2013-11-01
求助人	快乐大炮在 2025-08-15 13:33:49 发布自天津，悬赏 10 积分
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