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标题
Simulation Model of Surface Carbon Deposition Contamination Under Extreme Ultraviolet Radiation
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网址
http://doi.org/10.3788/aos201434.0531001
DOI
10.3788/aos201434.0531001 doi
其它 期刊：Acta Optica Sinica
作者：王珣 Wang Xun; 金春水 Jin Chunshui; 匡尚奇 Kuang Shangqi; 喻波 Yu Bo; 金方圆 Jin Fangyuan
出版日期：2014-01-01
求助人
QRE 在 2026-01-13 15:20:56 发布自北京，悬赏 10 积分
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