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标题
NF3 plasma-enhanced isotropic atomic layer etching of amorphous and crystalline hafnium oxide films
网址
http://dx.doi.org/10.1116/6.0005070
DOI
10.1116/6.0005070 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Gyejun Cho; Jehwan Hong; Hye-Lee Kim; Byungchul Cho; Changkyu Lee; et al
出版日期：2026-01-06
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songcraft 在 2026-10-27 18:07:13 发布自江苏，悬赏 10 积分
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