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标题
Ruthenium Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition
原子层沉积法生长钌薄膜
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网址
https://doi.org/10.1002/cvde.200290007
DOI
10.1002/cvde.200290007 doi
其它 期刊：Chemical Vapor Deposition
作者：Titta Aaltonen; Petra Alén; Mikko Ritala; Markku Leskelä
出版日期：2003-01-03
求助人
olivia 在 2025-06-24 23:00:33 发布自江苏，悬赏 10 积分
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