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Photolithographic patterning of bihelical tracks onto conical substrates
双螺旋轨道在锥形衬底上的光刻图案化
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网址
DOI
10.1117/1.2824377 doi
其它 期刊:Journal of Micro-nanolithography Mems and Moems
作者:Alan Purvis; Richard McWilliam; Simon Johnson; N.L. Seed; Gavin Williams; et al
出版日期:2007-10-01
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YUAN 在 2025-06-23 15:47:43 发布自湖南,悬赏 20 积分
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