Self-compensation of temperature drift for MEMS resonant pressure sensors based on dynamic Joule heating modulation

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标题	Self-compensation of temperature drift for MEMS resonant pressure sensors based on dynamic Joule heating modulation
网址	http://dx.doi.org/10.1063/5.0312145
DOI	10.1063/5.0312145 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Hui Liu; Jiayin Li; Zhiyin Cheng; Weipeng Li; Lingyun Wang 出版日期：2026-03-23
求助人	虾米在 2026-07-25 17:03:52 发布自江苏，悬赏 10 积分
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