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 Nanoindentation study of a Cu/Ta/SiO2/Si multilayer system 相关领域
纳米压痕
材料科学
钽
复合材料
分层（地质）
残余应力
溅射沉积
弹性模量
聚焦离子束
图层（电子）
基质（水族馆）
沟槽
模数
铜
溅射
离子
薄膜
冶金
纳米技术
古生物学
地质学
物理
海洋学
生物
构造学
量子力学
俯冲
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期刊：Journal of Semiconductors 作者：Z. Xin; L. Qian; Wu Zijing; Wu Xiao-jing; Shen Weidian; et al 出版日期：2012-04-01 |
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