UV–NIR femtosecond laser hybrid lithography for efficient printing of complex on-chip waveguides

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标题	UV–NIR femtosecond laser hybrid lithography for efficient printing of complex on-chip waveguides 高效打印复杂片上波导的紫外-近红外飞秒激光混合光刻相关领域光学飞秒材料科学平版印刷术激光器光电子学炸薯条光刻电子束光刻极紫外光刻抵抗纳米技术物理电信计算机科学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1364/ol.386861
DOI	10.1364/ol.386861 doi
其它	期刊：Optics Letters 作者：Zhishan Hou; Jiaji Cao; Feng Yu; Zhen‐Nan Tian; Xiao Xiong; et al 出版日期：2020-02-14
求助人	辛紫璇在 2025-08-13 17:41:08 发布自广东，悬赏 10 积分
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